一些真空腔体加工过程会产生大量的灰尘，如果灰尘进入油封真空泵混合在泵油中，会加速泵腔部件的磨损，造成泵转子和泵腔磨损损坏，堵塞油路或使泵无法运行，如果灰尘进入真空阀会使密封故障和泄漏，因此灰尘避免和过滤已成为提高真空腔使用寿命、提高生产率的关键问题，在灰尘真空系统中，使用灰尘过滤器。
当灰尘量较少时，泵油过滤系统可以过滤掉，但当灰尘量较大时，为了不损坏真空泵，使真空泵正常运行，应使用除尘器。真空腔体加工厂解释说，常用的灰尘过滤方法如下：
(1)旋风离心式。进气口和气缸放置偏痛，灰尘随气流旋转，由于离心效应，沉降在过滤器底部。
(2)油淋。在油泵的作用下，真空泵油从除尘器顶部高速喷射，油雾与上升气流相互吸附，混合在气流中的灰尘与油一起沉降到油池中。
(3)油湿介质粘附。灰尘粘附在气流作用下用真空泵油浸泡的介质表面。常用介质有环状或颗粒状陶瓷、金属丝条等。
(4)介质阻挠。利用介质的机械阻挠效果过滤灰尘。常用介质有金属丝网、或合成纤维、多孔金属、多孔塑料等。
(5)静电吸附。等离子体由真空中的气辉放电组成，灰尘附着在等离子体上，在电场力的作用下被驱动到电极外观。
(6)混合。将上述过滤形式组合形成混合过滤形式。
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