目前，现有的真空腔体加工设计形状多样，主要由不锈钢、铝合金和钛合金制成。铝合金重量轻，加工成本低，但由于质地柔软，不能用刀口密封，只能用橡胶圈密封；铝合金真空腔的优点是拆卸方便。缺点是只能用橡胶圈密封，密封方法单一。铝合金材料和橡胶圈放气率大，温度适应性差，不能采用焊接工艺，适用范围窄。钛合金重量轻，但加工成本高，焊接困难，焊接方法有限，不能用于方形真空腔体加工。不锈钢出气率低，机械性能好，焊接性能好，加工成本低，广泛应用于真空腔设计。
国内外真空腔垂直安装在国内外真空腔的设计中，只能沿圆筒轴向安装，空间狭小，组装不方便。
真空热处理是一种结合真空技术和热处理技术的新型热处理技术。真空热处理的真空环境是指低于大气压的大气环境，包括低真空、中真空、高真空和超高真空。真空热处理实际上属于大气控制热处理。
真空热处理是指真空状态下热处理过程的全部和部分。真空热处理可以实现几乎所有传统热处理所涉及的热处理过程，但热处理的质量大大提高。与传统的热处理相比，真空热处理可以实现无氧化、无碳、无碳、除去工件表面磷屑、脱脂和气体，达到表面光净化的效果。
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